近日，国仪量子（688828）在与投资者互动时明确表示，公司的电子显微镜等核心产品可广泛应用于芯片检测、半导体材料分析、先进制程芯片失效分析与结构表征等关键环节。这一表态再次突显了国仪量子在半导体高端检测领域的深入布局，标志着国产高端科学仪器正迅速融入国内半导体产业链的研发与制造过程。
作为国仪量子规模最大且增长最快的核心业务，电子显微镜在2025年的营收占比已达到56.29%。公司依托自主研发的场发射扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束双束电镜（FIB-SEM）及量子精密测量设备，成功构建了从核心部件到整机系统的全链条自主可控体系。在芯片检测领域，国仪量子的SEM5000X等超高分辨扫描电镜表现尤为出色，其分辨率可达0.6nm@15kV，能够支持12英寸晶圆的全覆盖无损检测。借助双减速样品台技术，这些设备不仅可以清晰观测FinFET器件栅极氧化层的针孔缺陷和EUV光刻胶图案缺陷，还能对光刻胶、介电薄膜等非导电样品进行无镀膜直接成像，极大地提升了检测效率。
除了常规形貌表征，国仪量子在芯片失效分析领域同样具备硬核实力。其DB550双束电镜集成了电子束观察与离子束纳米级刻蚀功能，能够针对ESD、介质击穿等内部失效点进行精准的截面制备与微观形貌观察，并支持先进封装检测与三维结构重构。更具创新性的是，公司推出的量子钻石显微镜（QDM）及宽场NV显微镜，利用量子传感技术，能够在不拆解芯片的情况下，以亚微米级的空间分辨率对芯片内部的2D/3D电流分布、异常电流路径及硬件木马进行无损检测，为先进封装和多层互连的失效分析提供了全新的“量子之眼”。
凭借卓越的技术指标与智能化的AI缺陷识别算法，国仪量子的产品已然在国内半导体市场占据领先地位。其扫描电镜和双束电镜在国内市场的占有率均居国产品牌之首，成功进入中芯国际、长江存储等顶尖晶圆厂的产线，并与兆易创新、京东方、季丰电子等产业链核心企业达成战略合作，纳入国产化采购验证清单。在半导体产业加速推进国产化替代的浪潮中，国仪量子正以全面的芯片检测解决方案，为中国“芯”的微观表征与良率提升提供坚实的底层支撑。
