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中芯国际测试首款国产DUV光刻机:5nm芯片生产迎来新突破

2025-09-19
在科技飞速发展的今天,芯片制造领域一直是各国竞相角逐的关键领域。近日,中芯国际传来重磅消息,中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇生产的深紫外线(DUV)光刻机,正测试的光刻机采用浸没式技术,类似于ASML所采用的技术,这一突破有望实现5nm芯片的生产,为我国芯片产业注入强大的动力。
光刻机是芯片制造的核心设备之一,其技术水平直接决定了芯片的制程工艺和性能。长期以来,高端光刻机市场被荷兰ASML等国外企业垄断,我国芯片产业发展在一定程度上受到制约。此次中芯国际测试的国产DUV光刻机,标志着我国在芯片制造领域迈出了自主创新的重要一步,有望缓解对外部技术的依赖,推动国内芯片产业的快速发展。

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