在纳米技术领域，二维铁电材料因其独特的性能备受关注，而如何实现其图案化制造一直是研究热点与难点。近日，哈尔滨工业大学传来令人振奋的消息，机电工程学院杨立军教授、丁烨副教授团队携手材料科学与工程学院李洋教授团队，成功开辟了一条在二维铁电材料上实现超分辨微纳结构图案化可控制造的新途径，相关成果刊登于《自然通讯》（Nature Communication），引发学界广泛关注。
传统制造工艺，如聚焦离子束刻蚀、电子束光刻结合离子刻蚀等，在面对二维铁电材料时，暴露出成本高昂、工艺繁琐、效率低下以及易对材料造成损伤等诸多弊端。激光直写技术虽具备一定优势，但受光学衍射极限制约，难以制备超细纳米结构。哈工大科研团队直面挑战，独辟蹊径，提出在空气环境下运用远场飞秒激光刻蚀技术，在多层铌氧碘（NbOI₂）这一二维铁电材料上进行操作。
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