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ASML 承认中国光刻进展:中科院 DUV 光源技术,剑指 3nm 芯片制造
2025-06-09
近日,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)首席执行官傅恪礼坦言,中国已着手研发国产光刻设备。与此同时,中科院传来捷报,其研发的固态深紫外(DUV)激光源技术取得重大突破,这一成果为半导体工艺迈向 3nm 制程提供了有力支撑。
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