此项成果源于对新型纳米光刻系统能力的测试。该系统的核心设备是 NanoFrazor 纳米雕刻机，它采用热扫描探针光刻技术，利用加热的针尖状探头，能在纳米尺度上 “书写” 出高度精确的图案。制作 “提琴” 时，团队先在小芯片上涂覆两层凝胶状抗蚀剂，将芯片置于雕刻机下，加热探头把 “提琴” 图案烧刻到表面层。接着溶解底层抗蚀剂，形成提琴形状的空腔，再沉积一层薄薄的铂，用丙酮冲洗掉多余材料，经过约 3 小时，这把精致的微型 “提琴” 就诞生了。
纳米光刻技术新突破：超微型 “提琴” 现身，尺寸小于发丝
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