这一技术灵感源自中国传统“蒸馒头”工艺:研究团队将低质量硒化铟薄膜置于密封容器中,利用液态铟形成“金属密封圈”,在高温下精准控制硒与铟的1:1原子比,最终“蒸”出原子排列整齐的高质量晶体。该过程解决了传统方法中因原子蒸发速率差异导致的材料缺陷问题,实现晶圆级规模化生产。

实验数据显示,基于“蒸笼法”的InSe晶体管迁移率达287 cm²/V·s,能效较3纳米硅基芯片提升10倍,亚阈值摆幅接近理论极限。其优异性能有望应用于人工智能、自动驾驶、智能终端等前沿领域,破解硅基芯片的物理极限瓶颈。

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